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全球太陽光電產業正高速成長中，我國光電、半導體製程設備製造廠均豪精密公司，日前發表台灣第一條自動化太陽能電池全製程設備，開發成功擴散爐、化學氣相沈積、快速燒結爐等三項關鍵製程設備，使國產精密設備成功跨入太陽光電產業。
均豪精密董事長葉勝發表示，全球太陽光電產業每年的成長率達40~60％，我國也呈現倍數成長的榮景。台灣太陽能電池的產值去年約200億，今年即可跳升至400億，預計明後年可達800億、1,500億的規模。均豪兩年前開始投入全製程設備開發，初期雖然面臨許多技術瓶頸，但是均豪充分運用累積30年來之自動化設備相關技術經驗，突破三項關鍵技術(擴散爐、化學氣相沈積、快速燒結爐)後，很快就打造出第一條全自動生產線。
均豪自去年第四季起就已開始陸續出貨，逾半數製程及自動化設備已通過客戶驗證、並進駐工廠，加購的訂單亦將自10月開始陸續交貨。今年9月甫發表的全自動全製程設備包括矽晶圓入料檢查、濕製程蝕刻、擴散爐、雷射邊緣隔離、化學氣相沈積、快速燒結爐、電池檢測分級、電池特性與顏色分級、各製程的自動化上載、下載、自動視覺檢測模組。其中擴散爐、化學氣相沈積、快速燒結爐等製程設備，已在客戶投片驗證中，近期將陸續接單。
另一項薄膜太陽能製程與液晶面板相近，都是以玻璃為基板的薄膜製程，均豪更挾其在液晶顯示器設備豐富之經驗，現正積極開發薄膜太陽能設備，其中，玻璃儲存搬運、玻璃清洗、雷射標記、雷射邊緣隔離、雷射劃線等設備都已推出。均豪同時將多年來液晶面板設備的自動化生產、自動倉儲、大尺寸玻璃運送機械手臂、自動傳輸、面板視覺檢測等技術，引進到薄膜太陽能製造與生產系統，其中的雷射劃線機預估年底前開始出貨數十台，金額可達數億。
亞洲地區預估明年將有數十條太陽能產線需求，而且矽晶材料廠商近年積極擴廠，可預見設備需求量將快速成長。亞洲晶片型或薄膜型太陽能設備以歐美日為主，歐洲為主要供應來源，國外設備價格高、客製化彈性低、交期長且服務無法及時，國產設備可改善這些問題。
均豪太陽能設備計畫主持人陳來成博士指出，由於全球設備供需呈現供不應求現象，且德、日大廠不可能提供客製化生產與即時服務，均豪在市場利基下，具備強勁的競爭能力。目前，均豪已有多項製程設備獲客戶驗證及上線生產，顯示設備方案及品質、服務都獲肯定，尤其客製化彈性設計、交期短、備品供應充分及即時線上服務等優勢，成為太陽能電池廠提升競爭力的夥伴。
【均豪精密股份有限公司 97.10.7】
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