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[ AOI 自動光學檢測設備 ]玻璃晶圓/外觀檢查機晶圓基片 - 產品介紹
對應不同的製程，可客製化調整檢測需求
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適用尺寸
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解析度
檢查項目
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針對需求對檢測結果做分類
檢測結果輸出成缺陷分布圖，以利缺陷分析與良率改善
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Wafer Size
4”~ 12”
Mag.
Inspection Items
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[ AOI 自動光學檢測設備 ]全自動白光干涉量測設備 - 產品介紹
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