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02
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03
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04
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Wafer / Panel Size
4”~12”Wafer/ panel size ~700mm x700mm
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[ AOI 自動光學檢測設備 ]晶圓/切割後晶圓外觀光學檢查機 - 產品介紹
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人工智慧-自動缺陷檢測和分類
聯絡我們
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Wafer Size
4”~12”/ panel size ~700mm x700mm
Inspect items
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Scratches, Chips, Broken, Crack ,Stain, Residual..etc
[ AOI 自動光學檢測設備 ]Glass Wafer/Bare Wafer表面檢查機 - 產品介紹
適用高階封裝製程Carrier Wafer或Bare Wafer(Prime/ Test/ Reclaim)表面瑕疵檢查
Color-One-Scan與人工智慧架構可對瑕疵類型做精準分類
聯絡我們
關閉
Wafer Size
4”~ 12”/ panel size ~700mm x700mm
Topography repeatability
0.12nm
Measurement items
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Surface topography, CD
[ AOI 自動光學檢測設備 ]全自動白光干涉量測設備 - 產品介紹
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聯絡我們
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Wafer Size
4”~12”/ panel size ~700mm x700mm
Inspection Items(dicing)
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Measurement items(TGV)
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[ AOI 自動光學檢測設備 ]3D NIR穿透式檢查機 - 產品介紹
晶圓切割後隱崩自動光學檢查機
TGV製程穿透式3D檢查機
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