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Wet Process 濕蝕刻設備

● 全機槽體、管路、線材、機構皆有防爆與導靜電設計，安全性高
● 軟體皆為GPM自行開發設計，可配合製程&設備部門要求即時修改
● 可調整Bench流場、上下Agitation與晶圓旋轉裝置增加反應速率，提升剝膜能力，改善蝕刻均一性

01鈦鎢蝕刻 02金蝕刻 03Bench Type/PR Stripper

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